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一种全息消像差方法及其投影光刻系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一种全息消像差方法，利用全息照明技术在特定条件下曝光，将光刻中照明信息，投影物镜调制信息以及掩模版位相调制信息同时记录在全息干板上。曝光后的全息干板替代现有技术的掩模版以及照明系统，采用共轭再现方式，令再现后的共轭光波再次进入投影物镜，补偿投影物镜在成像过程中引入的像差。携带有掩模调制信息、投影物镜倍缩信息和照明信息的光束令光刻胶曝光，完成光刻曝光过程。
　　应用本发明方法的投影光...
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