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光集成芯片的自动测试系统

2006年 应用技术
  • 成果简介
　　本实用新型光集成芯片自动测试系统，涉及自动测试技术领域。它提出了一个采用可编程逻辑控制器和微机控制的，带多路光纤探头的自动测试方案，可解决产品大批量生产时晶圆裸片自动检测的难点。可编程逻辑控制器用于控制由高速、高精度伺服电机组成的一个带真空吸盘，可作三维立体空间运动的裸片抓放机械手，一个可作二维平面运动的多路光纤光源探头，以及一个多路光纤信号探头，并能够测试各种不同光性能参数，如光功率、色散、...
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