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一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头

2007年 应用技术
  • 成果简介
本实用新型公开了一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头，包括一本体，所述本体上设置有喷气口，本体边缘处设有冷却水入口和出水口，其特征在于：所述本体内设有冷却水容腔，本体底面均布有至少4条径向设置的由复数个喷气口组成的气道，对应于每一气道上方设有一个覆盖喷气口的罩体，对应每一罩体在本体顶面设有入气口，入气口经进气管连通至罩体与气道间的空腔内，构成入气通道；所述本体顶面对应于冷却水入口与出口分...
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