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双模式反磁转子静电旋转微陀螺

2007年 应用技术
  • 成果简介
  一种微机电技术领域双模式反磁转子静电旋转微陀螺。本发明由上定子、转子和下定子构成,上定子倒扣在下定子上,上定子和下定子两个正面相对,从而形成空腔,转子则悬浮在此空腔内,所述上定子其基体正面设有上定子静电旋转电容极板组,背面设有上定子十字分隔结构和上定子永磁块,上定子十字分隔结构分隔成的四个区域上粘附着上定子永磁块;所述下定子其基体正面设有下定子静电旋转电容极板组和下定子侧向静电电极对,背面设有...
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