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用于化学气相沉淀装置的真空波纹吸着管

2006年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种用于化学气相沉淀装置的真空波纹吸着管，包括以下五个部分：一弹簧波纹管，其弹簧波纹的牙数可取35牙到45牙之间；两个连接部分，分别位于弹簧波纹管的前后两端；一波纹管后端台阶，表面处理精度应小于0.8μm2Ra；一波纹管前端台阶，表面处理精度应小于0.8μm2Ra，其外径的尺寸的选取应保证能与硅片吸盘的真空管道实现过盈配合；一长管，可将其插入硅片吸盘的真空管道中；上述五个部分之...
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