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利用电子散斑干涉载频调制技术测量物体形貌的方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明提供了一种利用电子散斑干涉载频调制技术测量物体形貌的方法，是将被测物体固定在一参考平面上，参考平面大于被测物体，参考平面外围与被测物体之间留有空隙，将被测物体连同参考平面一起偏转小于5度的微小角度，利用光的干涉，在被测物体表面和被测物体与参考平面外围的空隙处产生干涉载波条纹，用摄像机采集这一干涉载波条纹，即获得一幅载波条纹图，利用这一幅载波条纹图中被测物体与参考平面外围的空隙处的干涉...
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