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多段式反应溅射气体进气装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种多段式反应溅射气体进气装置，其进气主管由下段进气分管，中段进气分管，上段进气分管通过卡套连接成一排，每一进气分管的中部都与真空室内进气支管连接，进气分管均装有进气喷嘴，喷嘴与喷嘴座以螺纹连接并装有密封圈，每个真空室进气支管与穿过真空室壁进气支管连接，穿过真空室壁进气支管在室外的一端与流量调节针阀的出口连接，各调节针阀的入口汇合于连接器后再与压电陶瓷阀或质量流量控制器的出口连接，本装置的...
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