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一种制备具有密堆积结构的纳米超薄晶片的方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
制备具有密堆积结构的纳米超薄晶片的方法，采用气相团簇束流源产生颗粒直径在1～50纳米之间尺寸分布集中的纳米团簇束流，以纳米晶片的材料压制成为溅射靶材，并将其电离，加速，使得从其出发到衬底时的纳米颗粒能量在接近或刚超过颗粒的整个结合能的区间，衬底选用非取向的非晶衬底，将纳米颗粒束流高能沉积在衬底上。在本发明中，利用荷能团簇束流沉积的方法来制备超薄的纳米晶片，是因为荷能团簇束流沉积可以使数百成...
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