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一种微器件的微塑性成型方法和装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一种微器件的微塑性成型方法及装置，涉及微器件制造和微塑性成型技术领域，特指，其装置包括激光加热系统、微成型系统、加载系统、控制系统和安装平台五部分，由激光器发出的平顶型激光束通过光路系统，经过可透射凸模直接加载于难成形的微小工件材料表面，利用激光热作用对工件的非接触式加热和热传导，加热工件到材料再结晶温度以下适合成型的温度范围。同时，通过微驱动系统使凸模向凹模作进给运动，加载系统和微驱动系统相...
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