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工业废气的容性耦合放电处理装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种工业废气的容性耦合放电处理装置，包括集气罩、除尘过滤器、等离子体发生器、高频电源、旋片式真空泵、主烟道六个部分；上述集气罩与除尘过滤器相通，除尘过滤器的另一端通过管道与等离子体发生器的进气口连通，高频电源与等离子体发生器并联，等离子体发生器的出气口与旋片式真空泵相连，真空泵的另一端连接主烟道，主烟道与大气相通；本装置利用了容性耦合等离子体，容性耦合等离子体具有放电效率高，可...
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