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激光切割装置及方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
本发明提供一种激光切割装置，用于沿预定方向切割脆性材料基板，该激光切割装置包括：一承载装置，用于承载所述脆性材料基板；一开裂器具，用于在所述脆性材料基板上沿所述预定方向形成预切割线；一激光产生装置，用于产生激光束沿所述预切割线加热所述脆性材料基板；一冷却装置，用于提供冷却流体以冷却所述被加热的脆性材料基板，以使该脆性材料基板沿所述预切割线开裂；以及一夹持装置，其包括至少一对夹持部，用以从所...
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