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磁控溅射真空室H_2O内外压差逐级导入装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
磁控溅射真空室H_2O内－外压差逐级导入装置包括:密封抽滤瓶、H_2O气化导流管、至少三级H_2O气化用浮标式流量计、数字流量控制器和混气室,密封抽滤瓶通过H_2O气化导流管与至少三级H_2O气化用浮标式流量计连接,至少三级H_2O气化用浮标式流量计将密封抽滤瓶内的液态水逐级气化成单分子水分子后通过数字流量控制器定量调节后进入混气室,在混气室中H_2O分子与AR气或AR与O_2后充分混和,...
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