首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

制备非晶及纳米微晶薄膜的基片低温冷却装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
制备非晶态及纳米微晶态薄膜的基片低温冷却装置，包括：基片冷却腔、基片冷却腔液氮注入管、液氮瓶口密封橡胶塞装置、液氮瓶氮气注入管、数字化气体流量控制器、流量显示仪、高压氮气瓶，冷却腔液氮排出口位于溅射室外，冷却腔液氮注入管的一端从溅射室外部通入冷却腔体内，另一端穿过液氮瓶口密封橡胶塞装置通达液氮瓶瓶底部，数字化气体流量控制器的输出端接液氮瓶氮气注入管，液氮瓶氮气注入管的另一端穿过液氮瓶口密封...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统