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磁耦合纳米级超磁致伸缩多层膜与MSAW器件的开发

2007年

应用技术

成果简介

高科技与信息及微机电(MEMS)产业的发展对功能材料性能不断攀升的需求使稀土磁功能材料的开发与应用成为新材料研究的热点。稀土超磁致伸缩薄膜（RGMF），由于有着其他材料所不及的的一些特性，使其在信息技术及微机电产品中的应用(声表面波（SAW）器件、微泵、微阀等)极具挑战性。RGMF材料自身的优点使其能制成可调谐（或磁控）的SAW器件（MSAW）。由于在MSAW器件中仅材料表层得到利用，所以...

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