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用于加工过程监测与误差补偿的几种新型干涉仪

2002年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
现代加工和测量设备的坐标系统有两大类：直角坐标系和并联机构。为实现精确定位需要控制的21项几何误差和相应数目的热误差。测量参数类型可分为：长度、俯仰角、偏摆角、滚转角、直线度/同轴度、垂制度。为了测量并联机构的空间位姿需要多站跟踪干涉仪。为了达到纳米精度和小的非线性需要特殊的纳米干涉仪。小型非接触测头更是目前超精密加工和测量关注的焦点。
前述参数中，长度、俯仰角、偏摆角...
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