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薄膜材料微裂纹预制方法及其专用装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种薄膜材料微裂纹预制方法及其专用装置。该方法：首先将薄膜材料固定在硅单晶片的抛光面，将粘有薄膜材料的硅单晶片切割成为片状样品；然后将切割完毕的多个片状样品粘成块状样品，其中片状样品保持方向一致，薄膜材料夹持在硅单晶片之间，形成三明治式夹层结构；再将块状样品抛光后，固定在具有测力系统的载物台上，将压轮落在样品需预制微裂纹的一侧面，使其滑过整个需要加工微裂纹的样品一侧表面，在其滑过...
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