首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

准常压薄膜的制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种准常压薄膜的制备方法，包括以下步骤：第一步，将磷酸三乙酯、硼酸三乙酯和四乙氧基硅烷的液体分别输入各自对应的管道；第二步，通过汽化阀提高磷酸三乙酯的温度达到137℃～143℃并使之汽化、通过汽化阀使硼酸三乙酯和四乙氧基硅烷汽化；第三步，调整串联气体管道的温度到105℃～110℃；第四步，被汽化的磷酸三乙酯、硼酸三乙酯和四乙氧基硅烷进入腔体进行反应，产生可应用于层间绝缘膜的硼磷...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统