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测量光刻套刻精度的标尺及方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种测量光刻套刻精度的标尺，该标尺由中心相互重合、四个边相互平行的内外两个正方形组成，其中在内的正方形边长为10μm，在外的正方形边长为20μm，还包括以上述正方形的中心为原点的横向和纵向两个坐标轴，该坐标轴上标有刻度。本发明测量光刻套刻精度的方法，包括以下步骤：第一步，将标尺贴在显示器上；第二步，根据该标尺的位置调整套刻盒记号的位置，使两者的在内的正方形或在外的正方形相互重合...
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