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增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道

2006年 应用技术
  • 成果简介
　　本实用新型公开了增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道，包括硬质水管、软质水管和直角接头，所述硬质水管的一端连接到增强型等离子氧化膜沉积装置的腔盖上，所述硬质水管的另一端连接到所述直角接头的一端，所述直角接头的另一端连接到所述软质水管的一端，所述硬质水管为拐角为钝角的“Z”字形。
　　本实用新型通过将硬质水管改进成“Z”字形，使得冷却水管道避开了增强型等离子氧化膜沉积装置腔体表面...
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