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基于MEMS技术的微型硅倾角传感器研究

2002年

基础理论

成果简介

微型化、集成化、陈列化和多功能化是各类传感器的发展趋势，而MEMS技术则为实现该目标提供了一种及其有效的加工手段。采用MEMS技术中的硅微机械加工技术并结合标准IC工艺，通过合理设计，在同一块硅片上可研制出多个微型倾角传感器。一旦大批量生产，传感器的成本可大大降低，并且该种传感器体积小、重量轻，与信号处理电路配接后即可组装成廉价的便携式数字水平仪，具有很强的市场竞争力。
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