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容栅式位移测量专用集成电路开发

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
“容栅式位移测量专用集成电路”是为配套设计的容栅传感器所专用的检测电路。相对于其它栅式位置敏感器件来说，容栅具有结构紧凑体积小、造价低、易于屏蔽、环境适应性强和能耗低的特点。由于是靠改变工作面积来改变电容量的，因此容栅传感器的线性也很好。容栅位移测量融微细工程和电子技术为一体，为机、电、仪一体化的代表产品，容栅传感器及其检测电路组成的位移测量组件在制造业中有着广泛的应用，可组合成数显卡尺、...
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