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自检测压力－温度多功能传感器研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
自检测压力－温度多功能传感器是在集成压力－温度复合传感器的基础上实现传感器的自检测功能，使得传感器不但一芯多用，具有温度敏感、压力敏感多参数测量，而且一芯多能，集多参数测量、自检测等功能于一体，为固态压力传感器的多功能化、集成化注入了新的技术活力，推进了传感器向智能化方面的发展，具有较强的先进性与创新性。
在压力传感器的自检测方式中，热气动方式是一种最全面的自检测方法，...
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