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X射线荧光(XRF)微区镀层测厚仪

2007年

应用技术

成果简介

当一束激励X射线照射到样品上，镀层和基底中的元素都放射出特征荧光X射线（XRF）。镀层荧光X射线的强度随镀层厚度而增加；基底荧光X射线的强度随镀层厚度而降低。根据这类关系，测定荧光X射线的强度，便可以计算出镀层的厚度。普通XRF仪器的照射区域比较大，不适用于精微细小、形状复杂的样品。微区XRF仪器将微束X射线集中照射在很小的区域内（专利ZL 94 1 12117.8），采用激光定位技术（专...

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