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纳米步进马达研制

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本项目采用微动量驱动原理，将压电晶体在电脉冲作用下产生的微动量通过动量发生器转换成微动量后，驱动滑块在导轨上产生纳米位移。研制成功了行程5厘米具有纳米精度的纳米步进马达样机。该机可以往复进行纳米步进位移，步进精度小于50纳米。研制成果可在纳米加工、光通讯、航海、航天、天文、光学等领域具有广泛的应用。...
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