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用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明公开了一种用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管，包括石英管、感应圈、进气管、出气管、衬底、石墨舟、上法兰和下法兰，在石英管外套有感应圈，特征是：在反应室内安装有圆柱形罩，隔板将进气腔分隔为左进气腔和右进气腔，圆柱形罩的出气腔与出气管连通。顶板倾斜的圆柱形罩与衬底一起形成一个楔形的反应腔，反应腔的进气端宽，出气端窄。本发明还设计有衬底旋转装置。下法兰安装在升降杆的升降臂上。本发明具有能...
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