首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

LIGA制作高性能微电子机械模具研究

2007年 基础理论
  • 成果简介
随着微电子机械的广泛应用，人们希望大批量低成本生产微电子机械。通用方法是先制作微电子机械模具，再经压模或铸模来进行大批量的复制。LIGA技术是大批量低成本生产微电子机械的重要方法之一，它包括深度同步辐射光刻、电铸和塑铸工艺。在实际脱模过程中，由于微电子机械与模具表面的摩擦使得脱模成功率低，模具寿命短，所以目前这种批量制作微电子机械的方法还处在实验室研究阶段。本项目主要对LIGA技术的微电铸...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统