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测量激光光束平行性的装置

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种测量激光光束平行性的装置,本发明采用被检测光束、光阑、会聚透镜、半透半反镜、两个柱透镜、两个四象限探测器和计算机组成测量装置,会聚透镜、半透半反镜、两个柱透镜和两个四象限探测器构成光束平行性检测器,基于像散法聚焦误差探测来进行光束平行性的探测。采用差动法消除由于入射光离轴造成的探测误差。可以通过设计光学系统以拥有任意灵敏度和线性范围;尤其适合测量高质量的小口径,小发散角的具有旋转对称性的激...
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