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大面积类金刚石膜工程化制备技术研究及在高精密工模具上的应用

2007年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　主要采用无灯丝长条离子源与非平衡磁控溅射的复合技术制备类金刚石膜和掺金属的类金刚石膜。利用离子源离化出氩离子直接轰击工件，使工件露出新鲜的表面。然后，用阴极电弧进行金属离子轰击后，进行非平衡磁控溅射沉积过渡层，通入含碳气体(如CH4)经离子源，使其充分离化成碳离子，在自身动量和偏压的作用下，在工件表面发生碰撞、键合等作用，生成含SP3键的类金刚石；同时，开启装有金属靶的磁控溅射，实现在类金刚石...
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