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三维微细电解加工技术与装备的开发研究

2007年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　课题来源与背景：随着科学技术的不断发展，许多领域如医学、生物工程、机械电子以及航空航天等，对微细器械的需求越来越大。目前采用的微细零件加工技术，如LIGA等，设备昂贵，很多微细零件国内尚不能加工；如微细电火花加工技术，目前尚不能加工复杂零件，而且去除方式为微团去除，限制了其向更微的方向发展。
　　技术原理及性能指标：微电解加工技术原理是利用电化学反应以离子方式去除工件材料。本项目所...
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