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集成真空微电子触觉传感器阵列

2002年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本项目来源于国家“863”智能机器人主题资助项目。本项目针对智能机器人和特种智能机器人的需求，研究利用先进的微电子技术、MEMS技术和仿效、依据真空电子管技术，实现将低偏压场致发射阴极锥尖阵列、仿人肌肤阳极膜、绝缘层和真空微腔所构成的触觉敏感元以高密度的方式与信号获取处理电路集成在一体，以构成一种十分理想的耐高低温、抗辐射、高精度、高灵敏、高分辨率、快响应、高密度、低电压、低功率、体积很小...
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