首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

纳米尺度硅集成电路新结构器件与工艺

2007年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　该成果依托973和国家自然科学基金重点项目，面向亚50nm硅基集成电路技术中的诸多挑战，从亚50nm的新型器件结构与制备工艺、可靠性、器件与工艺模拟软件等方面开展了系统深入的研究，取得了系列具有自主知识产权的创新成果，建立了纳米尺度集成电路器件与工艺研发平台，获得一批发明专利，研究成果处于国际先进水平，部分成果已为国内外半导体公司提供了相应服务。其中有代表性成果包括：
　　(1)提...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统