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薄膜力学性能表征与评价

2007年 基础理论
  • 成果简介
薄膜材料和薄膜器件日益广泛的应用及其可靠性指标体系的日益健全，要求学术界对其结构和性能的特殊性给出科学解释，随着材料尺寸减小和低微化，在介观尺度下材料性能所“感觉到”到的表面和界面效应（如超薄薄膜的膜厚效应），以及层状材料所“感觉到”到的弹塑性甚至蠕变性能的异质界面约束效应，大多基于实验观测，故正确的实验方法和性能表征显得十分重要。
本项目针对微电子和微器件领域具有先进...
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