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多晶硅还原、干法回收和氢化工艺技术的研究

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　该项目通过引进国外先进设备、生产技术和自动化控制技术，吸收消化“改良西门子法”多晶硅还原、干法回收和氢化生产技术。还原炉单炉产量达到5吨／周期，还原电耗小于120千瓦时／千克，氢化系统处理能力达到12000千克／小时，尾气干法回收系统处理能力达到9000立方米／小时，各组分回收率达到98﹪，生产的多晶硅材料质量85﹪以上达到电子级水平。项目市场前景广阔，经济效益显著。项目实施后，在解决国内电子...
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