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90~65纳米极大规模集成电路大生产的关键技术研究

2007年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　本成果属信息技术领域。基于国民经济的重大需求，在国家863重大专项支持下，在90nm和65nmCMOS极大规模集成电路大生产关键技术方面开展研究。项目由北京大学、浙江大学、西安电子科技大学、清华大学、中科院微电子所和中芯国际集成电路制造有限公司组成的产学研结合的研发团队承担，取得如下标志性成果：
　　1）成功开发了90nm大生产核心技术，包括微细加工、Co硅化物浅结、Cu互联／低K...

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