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一种音叉式微机械陀螺及其制作方法

2007年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明设计一种音叉式微机械陀螺及其制作方法。微机械陀螺主要是由第一基板及其上的四组驱动用条形固定对电极和两组检测用条形固定对电极、固定在第一基板上的中间锚点和两侧锚点、悬在第一基板上方的第二基板组成；第二基板包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称的驱动质量块、中间锚点与驱动质量块相连接的第一弹性梁、两侧锚点与驱动质量块相连接的第二弹性梁、连接两个驱动质量块的耦合弹性梁、可沿垂直于驱动方向的检...
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