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一种微型角速度传感器及其制作方法

2007年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　音叉式微机械陀螺具有优良的阻尼动力学特性，器件性能居国内前沿，可以在航空航天、光机电一体化、机器人等领域得到较广泛的应用，具有创造良好的社会和经济效益潜力。...
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