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节能高效真空太阳能集热管镀膜机

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　磁控溅射技术是利用真空稀薄气体辉光放电产生的粒子或高能中性粒子轰击金属或其合金表面，溅射出金属粒子沉积到工件表面，从而获得各种特殊的物理膜层或结构。其装置一般由溅射电源、真空机组、工作气体控制器、真空室和真空仪表等几部分组成。
　　“节能高效真空太阳能集热管镀膜机”主要采用了本公司自行研发的大功率高频逆变磁控溅射直流电源和反应溅射拐点恒电压控制仪这两种新技术。其中磁控溅射直流电源采...
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