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高纯磷烷电子特种气体制备

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
简要技术说明
高纯磷烷电子特种气体制备的工作原理是：化学吸附和吸附提纯气体状态下的磷烷气体，清除不能允许分子杂质。
高纯电子级别磷烷气体的纯化技术和规模生产技术的创新点：
1）采取恒定温度吸附－低温精馏高纯气体，不同于国外高温催化吸附洗涤吸收工艺，更易于进行大流量高纯度纯化处理，成本低；
2）研制高纯金属等作为...
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