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磁过滤真空溅射离子沉积技术制备四配位非晶碳和碳氮超硬薄膜

2000年 基础理论
  • 成果简介
四配位非晶碳和碳氮超硬薄膜可用于工业上抗磨损保护性涂层。课题组创新地建立了磁过滤真空离子溅射系统，用该系统研究了四配位非晶碳和碳氮薄膜的制备技术、结构、性能和形成机理。...
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