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低温等离子体诊断技术及PECVD制备薄膜材料的应用

2000年 基础理论
  • 成果简介
项目是低温等离子体诊断技术及利用低温等离子体增化学气相沉积制备薄膜的研究。对等离子体密度、温度和离子能量进行了测量研究，在较低沉积温度下制备了Si_3N_4薄膜，并成功地应用于趋高频大功率晶体管的钝化膜中。...
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