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除去水中气相杂质的方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一、成果简介：
　　在半导体器件生产工艺过程中，所用的高纯水中不希望含氧、二氧化碳和甲烷。因为水中若含有甲烷气体，则会造成总有机碳(TOC)超标，从而会影响器件的成品率。为了达到上述要求，本发明采用纯氢与水中所含氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷充分接触的方法，来实现同时去除水中所含的氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷。
　　通过气相色谱仪对处理前、后水与纯氢中所含的氧、氮...
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