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基于微分光器件的红外吸收式有害气体测试系统的研制

2007年

应用技术

成果简介

　　技术成果简介：
　　项目的主要内容和提出的依据：主要内容：
　　1.针对汽车尾气和煤矿常见有害气体如CO、CO_2、C-H、NO_x、CH_4等的红外谱特性，确定合适吸收峰，研制相应的基于MEMS技术的硅微分光器件；
　　2.设计分光系统，实现广谱光源在微分器件基础上单波长或极窄带宽波长的输出；
　　3.研制相关测试电路、吸收气室，完成测试系统集...

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