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薄膜化微波元器件集成技术研究和中试生产

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　技术成果简介：
　　项目的主要内容和提出的依据：项目以薄膜化微波无源器件集成技术的研究和中试生产为目标，主要研究各种薄膜化无源微波集成电路的设计，基片的加工工艺，导电、电阻、介质和绝缘薄膜的制备、处理和微图形化工艺，以及模块的封装测试技术，最终形成薄膜化无源微波集成电路的中试生产能力，解决目前微波薄膜集成电路购货周期长、个性化设计不易满足且价格昂贵等问题。微波电路的趋势是向小型化...
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