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集成式硅应变压阻传感器中提高灵敏系数及线性度的研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一、成果名称：集成式硅应变压阻传感器中提高灵敏系数及线性度的研究。
　　二、项目来源：中国工程物理研究院院外基金。
　　三、成果水平及专利情况：2000年获得中国工程物理研究所国防预研二等奖。
　　四、项目主要内容及应用范围：
　　1．项目主要内容：按照项目的要求，进行了以下研究。一是提高硅压阻式传感器的灵敏系数研究；二是提高硅压阻式传感器的线性...
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