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超高真空离子溅射镀膜设备与技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　采用固体物理研究所自行开发的大面积超高真空兼容的溅射靶技术（已申请国家发明专利）开发的超高真空离子溅射镀膜设备可以用于机械、电子、装饰等领域。该设备的极限真空压强小于5×10^(-8)Pa。由于特殊的真空设计，该设备特别适用于刀具和模具的超硬涂层，电子和光电子器件所需的各种特殊薄膜。我们可以根据用户的具体要求量身定做。...
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