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标尺光栅精度检测仪

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本仪器是适用于大、中规模生产标尺光栅厂家作流水线自动检测装置，其精度≤1μm（1m长标尺光栅）。
　　本实用新型是一种标尺光栅精度检测仪，涉及光栅数显技术领域，其特征在于采用两根具有相同栅距的标尺光栅面－面对置组合成对，通过光电探测器相对于标尺光栅对作X、Y向移动，测量其莫尔条纹图象的光强变化，经数字显示仪输出数据，再经数据处理得到每根标尺光栅的刻线误差。本实用新型具有测量精度高、...
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