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硅微机械技工技术（著作）

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
《微微机械加工技术》于1996年1月科学出版社出版。全书共分9章，引用参考文献184篇，插图183幅。主要论述了表面微机械加工技术、体微机械加工技术（干法、湿法）、键合技术（静电键合、热键合）。主要应用领域包括微传感器、微执行器、微机电系统。论著被国内后来他人出版的12本专著或教科书用较大篇幅应用，被国内30余个单位发表的65篇论文应用。产生了显著的社会效益。...
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