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类金刚石薄膜沉积技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　项目概述
　　金刚石薄膜集力学、电学、热学、光学等优异特性于一身，被公认是最有发展前途的新型电子材料，金刚石薄膜是一种优异的高温半导体材料，对半导体器件的发展将起到举足轻重的作用。此外，金刚石薄膜还将使超大规模和超高速集成电路的发展进入一个新的时代。上海大学材料学院长期从事“类金刚石薄膜沉积技术”研究，取得了显著的成果。“类金刚石膜作光学增透膜新应用”项目，1992获国家发明专利，...
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