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集成MOS力敏运放压力传感器用的力敏运算放大器器件

2007年

应用技术

成果简介

　　专利号：ZL01134337.0
　　一种集成 M力敏运放压力传感器用的力敏运算放大器器件，其特征在于它含有：凹形硅杯，做在N型（100）硅膜片上由完全对称但沟道相互垂直的一对运算放大器，构成以取代力敏运放电路输入端一对运算放大器的PMOS差分输入对管M1，M2，做在厚体硅上和上述M1，M2管相连的上述力敏运放电路的其余部分。它具有结构简单，压力响应灵敏度高，线性度好，只需一次调...

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