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频率分裂氦－氖激光回馈自混合非接触测微仪

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　专利号：ZL02120797.6。
　　频率分裂氦－氖激光回馈自混合非接触测微仪，涉及一种氦－氖激光回馈效应自混合干涉仪的结构设计。本发明主要由氦－氖激光器光源、光电探测及信号处理单元，含有回馈腔及带反射面的被测物体组成，其激光器不使用普通氦氖激光器，而是利用频率分裂激光器作光源，该激光器由激光放电管、反射镜和可在激光腔内产生双折射效应的双折射元件组成。因此本发明有效解决了激光回馈...
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